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单晶PERC电池提效成为当今光伏电池环节技术最重要的课题。扩散作为电池PN结工序,重要性不言而喻。扩散效果的好坏通常通过方阻的大小以及均匀性进行体现。以单晶PERC单面电池产品为例,通过调整扩散工艺中温度、时间以及气体流量等参数,研究其对扩散方阻的影响,进而分析对电池电学性能的影响作用,最终优化扩散工艺条件。