【摘 要】
：
本文在菲克定律的基础上导出了瞬态退火过程中注入杂质浓度分布与退火时间的关系,并对此理论结果进行了实验验证,两者符合良好。本文还讨论了瞬态退火过程中的增强扩散效应。
【机 构】
：
西安交通大学半导体教研室,西安交通大学半导体教研室
论文部分内容阅读
本文在菲克定律的基础上导出了瞬态退火过程中注入杂质浓度分布与退火时间的关系,并对此理论结果进行了实验验证,两者符合良好。本文还讨论了瞬态退火过程中的增强扩散效应。
Based on Fick’s law, this paper deduces the relationship between the impurity concentration distribution and the annealing time in the transient annealing process, and verifies the theoretical results with the experimental results. This article also discusses the enhanced diffusion effect during transient annealing.
其他文献
用质子交换制备LiNbO_3光波导的方法有很多吸引人的优点,但实践中发现所得导波层电光系数r_(33)显著下降。本文报导了一种用于测试导波层电光系数的外电极调制直接相干测试的
我的老妈,她的名字叫徐爱丽,今年31岁,她留着长长的秀发,半红半黑的,半中半洋的。有一双圆圆的大眼睛,还架着一副大大的眼镜。鼻子可是小巧玲珑的,一张樱桃小嘴,骂起人来可是
《检测生物组织中的糖类、脂肪和蛋白质》是高中阶段学生遇到的第一个实验,如何激发并保持学生对生物实验的浓厚兴趣;如何让学生掌握知识内容的同时,培养并提升他们的探究能
Objectives:We report here the clini cal and genetic features of two new families with autosomal dominant progressive external ophthalmoplegia(adPEO).Patients an
面对新课程改革,作为一名历史课教师应该怎样去做呢？这是每一位一线教师必须思考的问题。目前的教学中总是提到要紧扣课程标准,围绕大纲展开教学工作,同时还要体现新课改的理
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download and view, this article does not support online access to view profile.
Purpose To report pseudohypopyon after intravitreal triamcinolone acetonide in jection for cystoid macular edema. Design Retrospective, noncomparative, consecu
本文阐述了通过实验研究适于在扫描电镜上观测电位衬度的工作状态,指出在观测负电位衬度时会出现反常现象,分析了产生的原因并探讨了改进的途径。最后给出了在国产电镜上进行
随着我国市场经济持续、快速的发展,居民的文化生活水平也在提升,尤其是居民对健身活动的需求急剧增长,使得健身娱乐市场蕴涵着巨大的发展潜力。健身俱乐部是我国体育产业的
本文研究了低功耗集成运算放大器在可靠性筛选中出现的致命性失效现象,提取了必要的模型参数,藉助于Spicc-Ⅱ程序进行了失效现象的分析.模拟结果与实验的模式较为符合.
In t