超磁致伸缩膜在力传感器上的应用

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超磁致伸缩材料可用于制作电 -机械转换元件 ,能将机械能变换为电能。有效地利用这一特征即可构成高灵敏度传感器。近年来传感器和致动器日益向小型化发展 ,使用块体材料在形状选择上受到一定限制 ,薄膜材料则适用于各种形状的器件。超磁致伸缩合金膜用于传感器时 ,对于薄膜磁 Giant magnetostrictive materials can be used to make electro-mechanical conversion elements that convert mechanical energy into electrical energy. Effective use of this feature can constitute a high sensitivity sensor. In recent years, sensors and actuators are increasingly being miniaturized. The use of bulk materials is limited in shape selection, and thin film materials are suitable for devices of various shapes. Giant magnetostrictive alloy film used in the sensor, the magnetic film
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