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来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
化合物半导体材料的应用经历了稳定的增长,尤其是在光电子产业中更为典型.这些材料的应用要求在封装之前需将衬底减薄到100μm以下.由于这种材料的易碎性,需要某种支持方式来
【机 构】
:
EV Group, DI Erich Thallner Strasse 1, A-4780 Schaerding, Austria
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
晶圆减薄
临时键合
解键合
干式膜层压
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