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半导体ZnTe/GaAs界面层错的高分辨显微分析
半导体ZnTe/GaAs界面层错的高分辨显微分析
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tingchao12
【摘 要】
:
本项研究对经热壁外延(HWE)生长在GaAs基底上的ZnTe进行分高分辨显微结构的观察,在ZnTe/GaAs界面上不仅存在着混合型全位错的扩展,而且首次发现类似螺旋位错分解的层错,并将其归结为原子在不全位错之后
【作 者】
:
韩培德
【机 构】
:
中国科学院凝聚态物理中心
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
层错
螺旋位错
不全位错
异质结构
半导体材料
SEM technique conductive fillers liquid silicon
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本项研究对经热壁外延(HWE)生长在GaAs基底上的ZnTe进行分高分辨显微结构的观察,在ZnTe/GaAs界面上不仅存在着混合型全位错的扩展,而且首次发现类似螺旋位错分解的层错,并将其归结为原子在不全位错之后的堆积。
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