【摘 要】
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利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)--目前研究细胞电生理的常用工具之一,在电极阵列背面利用微笔直写技术直接“写”上加
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083华东医学生物技术研究所,南京,210002;华中科技大学激光加工国家工程研究中心,武汉,430074;中国科学院半导体研究所集成光电
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利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)--目前研究细胞电生理的常用工具之一,在电极阵列背面利用微笔直写技术直接“写”上加温和热敏电阻,完成了微电极阵列、电热器件和热敏器件的集成制造.随后对电极阻抗和微加热器性能进行了测试,并在其上培养神经细胞.结果表明:激光直写导线宽度与加工电流、光阑直径、电子浆料、涂层厚度和衬底材料相关;电极和微加热器性能基本满足使用需求,但是电子浆料成分对细胞生物活性存在一些影响.今后将更换电子浆料材料,提高生物相容性.
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