【摘 要】
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利用微束卢瑟福背散射能谱（Ｍ－ＲＢＳ）分析方法，对Ａｌ＿（７０）Ｓｎ＿（３０）合金表面的两种微相区（Ａｌ富集相区和Ｓｎ富集相区），在２７ｋｅＶＡｒ￣＋离子轰击（总剂量为１．４×１０￣（１８）Ａｒ￣＋／ｃｍ￣２）前后，分别测定了Ｓｎ原子的深度分布。实验结果表明，在Ａｌ富集相区和Ｓｎ富集相区之间，以
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利用微束卢瑟福背散射能谱（Ｍ－ＲＢＳ）分析方法，对Ａｌ＿（７０）Ｓｎ＿（３０）合金表面的两种微相区（Ａｌ富集相区和Ｓｎ富集相区），在２７ｋｅＶＡｒ￣＋离子轰击（总剂量为１．４×１０￣（１８）Ａｒ￣＋／ｃｍ￣２）前后，分别测定了Ｓｎ原子的深度分布。实验结果表明，在Ａｌ富集相区和Ｓｎ富集相区之间，以及各相区在离子溅射前后，Ｓｎ原子浓度深度分布曲线是不相同的。
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