微机械制造技术的现状、发展及应用前景

来源 :航空精密制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huapdf

【摘要】

：

论述了微机械技术的现状和应用前景、微机械制造技术的重要性及其现状和发展趋势． The status quo and application foreground of micromechanical technology, the importa

【作者】

：

徐庆仁刘淑敏

【机构】

：

中国航空信息分中心

【出处】

：

航空精密制造技术

【发表日期】

：

1996年04期

【关键词】

：

机械制造技术微机械技术微细加工技术离子束光刻光刻技术机电一体化产品致动器放电加工掩模微机电系统

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论述了微机械技术的现状和应用前景、微机械制造技术的重要性及其现状和发展趋势． The status quo and application foreground of micromechanical technology, the importance of micromechanical manufacturing technology and its status quo and development trend are discussed.

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