【摘 要】
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本工作对 P、N 型,〈100〉和〈111〉晶向的直拉硅单晶进行热氧化—化学腐蚀处理。对氧化时间、氧化气氛和腐蚀深度等条件进行了条件试验。对检测对象进行了重点讨论。
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【机 构】
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峨眉半导体材料研究所,峨眉半导体材料研究所
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本工作对 P、N 型,〈100〉和〈111〉晶向的直拉硅单晶进行热氧化—化学腐蚀处理。对氧化时间、氧化气氛和腐蚀深度等条件进行了条件试验。对检测对象进行了重点讨论。
In this work, thermal oxidation-chemical etching was applied to C-type, N-type, <100> and <111> CZTs. The conditions of oxidation time, oxidizing atmosphere and corrosion depth were tested. The test object was the focus of discussion.
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