【摘 要】
：
在不用金作掩蔽膜的情况下，在氢氟酸混合液中对采用直流反应溅射方法制备的Ｔａ２Ｏ５薄膜进行选择性腐蚀，制成Ｔａ２Ｏ５膜Ｈ＋－ＩＳＦＥＴ。测试结果表明，该器件在灵敏度、线性范围、线性度、响应时间、滞后、时漂
论文部分内容阅读
在不用金作掩蔽膜的情况下，在氢氟酸混合液中对采用直流反应溅射方法制备的Ｔａ２Ｏ５薄膜进行选择性腐蚀，制成Ｔａ２Ｏ５膜Ｈ＋－ＩＳＦＥＴ。测试结果表明，该器件在灵敏度、线性范围、线性度、响应时间、滞后、时漂和选择性等方面普遍优于Ｓｉ３Ｎ４膜同类器件。可直接用于溶液的ｐＨ值测量。
The Ta2O5 film prepared by direct current reactive sputtering method was selectively etched in hydrofluoric acid solution to form Ta2O5 film H + -ISFET without gold as masking film. The test results show that the device is generally superior to similar Si3N4 film devices in terms of sensitivity, linearity, linearity, response time, hysteresis, time drift and selectivity. Can be used directly for pH measurement of solutions.
其他文献
目的以中药白花蛇舌草抗肿瘤模型药,制备白花蛇舌草醇提取物缓释微丸。方法通过单因素考察和正交设计实验优化处方,采用挤出滚圆法制备白花蛇舌草缓释微丸。结果所获得的目标
水火无情人有情。连日来长江流域水灾险情接连不断，人民的生命财产安全受到严重威胁，深深地牵着无数人的心，防汛抗洪成为当前压倒一切的头等大事。曾经历过“９６·８”特大洪水洗礼的
地质学上.依据所对应地层的生命特征将地球46亿年的历史分成了前后两个部分:前面是没有明显生命迹象的隐生宙,后面是有了明显生命痕迹的显生宙。显生宙中又根据动植物形态的
自主创新是增强我国科技竞争力和综合国力的决定性因素。财政支持自主创新的方式和路径,在某种程度上体现了国家意志和发展方向。在世界经济处于重大转变的时期,我国自主创新
尊敬的校长们、阁下、同行和朋友们:我们将在“不断强大的女性和不断强大的人类”所19年前,各国领导人和政府团体代表齐聚北京,描绘的横幅下举办纪念活动。联合国妇女署正在
史玉泉教授是我国神经外科的开创者和领导者,是一位卓越的医学教育家和医务工作者.他热爱祖国,热爱医疗卫生事业,治学严谨,医术精湛,为人公正,对我国神经科学的发展和人才培
在日本，揭露自己亲身经历的战争犯罪需要勇气，尤其在为侵华日军南京大屠杀翻案之风愈演愈烈之际，承认并揭露南京大屠杀罪行，就更需要勇气。然而，有一位原日军士兵则无所畏惧，公开站
麻疹在临床方面,如能给以良好的护理、对症治疗、防止继发感染,一般均可治愈;问题只是在于麻疹的并发症,如处理不当,极易引起死亡,茲将临床所见麻疹的并发症及其处理原则介
罗元钞，资都经漆贸易大学经漆学技校一弟六、士、八届全国政协委员，国内外著名经冰学家和社会活动农。1947年年业于华西大学，后留学其罔，先后在加州大学、圣·阿勒佛大学研修经漆
张立,硕士,毕业于江南大学工业设计专业。现任上海海事大学徐悲鸿艺术设计学院副教授,高级工程师,上海徐悲鸿艺术研究协会会员。曾获第二十二届上海优秀发明铜奖,第二十三届