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【摘 要】
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一、前言 有关薄膜的力学性质,到目前为止,已经有很多实验。特别是内应力和附着力,更有其实用方面的意义,已经有许多实验资料。但还不能说,应力产生的原因和附着机理已被充分
【出 处】
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真空
【发表日期】
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1983年01期
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