【摘 要】
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按照正切规则，给出了不同夹具下与基片位置有关的薄膜微柱体的生长公式，并直 观地模拟计算了这些薄膜的微观结构，反映了不同夹具下生长的薄膜结构差异与特点。
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按照正切规则，给出了不同夹具下与基片位置有关的薄膜微柱体的生长公式，并直 观地模拟计算了这些薄膜的微观结构，反映了不同夹具下生长的薄膜结构差异与特点。
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