【摘 要】
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Bulk Micromegas探测器是一种新型微结构气体探测器.利用光蚀刻技术制作了有效面积为10 cm×10 cm的多通道Bulk M icromegas探测器.对探测器的各通道进行了电容测试,显示探测
【机 构】
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中国原子能科学研究院 核数据重点实验室 ,北京,102413
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Bulk Micromegas探测器是一种新型微结构气体探测器.利用光蚀刻技术制作了有效面积为10 cm×10 cm的多通道Bulk M icromegas探测器.对探测器的各通道进行了电容测试,显示探测器具有较好的均匀性.在Ar+10％CO2气体中,使用55 Fe放射源和自主研制的基于APV25前端卡的数字化电子学,对制作的有效面积为10 cm×10 cm的探测器进行了测试,其结果显示探测器性能良好,能得到清晰的二维事件分布图.该探测器目前全部工艺国产化,并能进行批量生产,成品率接近100％.
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