【摘 要】
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建立氩离子束对光刻胶微透镜的刻蚀模型 ,模拟折射微透镜制备中的离子束刻蚀工艺过程。通过模拟可以预先获得离子束在不同倾斜入射状态下所得到的折射微透镜的截面轮廓 ,为优
【机 构】
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华中理工大学光电子工程系!武汉430074,华中理工大学光电子工程系!武汉430074,华中理工大学光电子工程系!武汉430074
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建立氩离子束对光刻胶微透镜的刻蚀模型 ,模拟折射微透镜制备中的离子束刻蚀工艺过程。通过模拟可以预先获得离子束在不同倾斜入射状态下所得到的折射微透镜的截面轮廓 ,为优化离子束的刻蚀工艺奠定基础 ,同时也可以确定刻蚀过程的终点时刻。
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