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采用直流磁控溅射法、Pt作肖特基接触的工艺,制作了N型6H-SiC肖特基势垒二极管,对肖特基势垒二极管的电学特性及温度特性进行了研究.实验结果表明,该器件具有很好的整流特性,反向电流小、击穿电压高,且在高温下器件波动很小,能够稳定地工作,适合于在高温(600 °C)等恶劣环境下长期可靠地工作.
Pt／6H—SiC肖特基势垒二极管特性分析
【摘 要】
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采用直流磁控溅射法、Pt作肖特基接触的工艺,制作了N型6H-SiC肖特基势垒二极管,对肖特基势垒二极管的电学特性及温度特性进行了研究.实验结果表明,该器件具有很好的整流特性,
【机 构】
：
华中科技大学
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
：
2003年1期
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