【摘 要】
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云母纳米片(MNL)能显著改善硅(Si)微纳电子器件的电子输运性能,是一种非常有潜力的介电材料。MNL与接触的Si基底之间的界面吸附行为对于所构建的微纳电子器件的性能和力学稳
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云母纳米片(MNL)能显著改善硅(Si)微纳电子器件的电子输运性能,是一种非常有潜力的介电材料。MNL与接触的Si基底之间的界面吸附行为对于所构建的微纳电子器件的性能和力学稳定性极为关键,但是测试手段和技术上的困难导致我们对这类界面吸附行为的认知非常有限。本文采用了颗粒支撑的鼓泡方法测量了MNL与Si基底之间的界面吸附能,其测量结果为42.9 ±8.9 mJ/m2,接近范德华吸附的理论估算值~30 mJ/m2。同时,基于对比测试结果,本文还对颗粒支撑的鼓泡测试法在具体测量中所涉及到的力学
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