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对用常规电子柬蒸发和Ar离子辅助沉积所得的非晶硅光学薄膜的光学常数、表面形貌、热稳定性和湿度稳定性等进行了研究。结果发现Ar离子辅助沉积所得非晶硅光学薄膜的折射率大大提高，表面粗糙度明显降低，湿度稳定性和热稳定性也得到较大改善，但是光学带隙变窄，光学吸收增加。
电子束蒸发Ar离子辅助沉积Si光学薄膜的特性
【摘 要】
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对用常规电子柬蒸发和Ar离子辅助沉积所得的非晶硅光学薄膜的光学常数、表面形貌、热稳定性和湿度稳定性等进行了研究。结果发现Ar离子辅助沉积所得非晶硅光学薄膜的折射率大
【机 构】
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中国科学院理化技术研究所,北京工业大学光电子技术实验室
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2006年6期
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