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硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：debaobei

【摘 要】

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采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器,分析了微型加热器和温度传感器的特性,并给出扫描电子显

【作 者】

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席文柱 闫卫平 杜立群 郭吉洪 

【机 构】

：

大连理工大学电子系,大连理工大学微系统研究中心

【出 处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

硅基PCR 生物芯片 微型加热器 温度传感器 聚合酶链式反应 微反应腔 

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论文部分内容阅读

采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器,分析了微型加热器和温度传感器的特性,并给出扫描电子显微镜照片.实验证明Ni比较适合做温度传感器,NiCr是较好的微型加热器材料,能够满足PCR生物芯片温度特性的要求.

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