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柔性机构在精密加工领域的应用需求在逐渐增长，由简单形状的柔性铰链实现精确的微位移，但是目前柔性机构的精准控制尚未得到很好的解决。为此，提出一种基于有限元分析方法的标志区域建模方法，通过标志区域的划分及辨识来建宦柔性机构模型，并通过仿真分析与有限元模型进行对比，接着提出了一种柔性机构模型降阶方法，最后通过应用柔性机构实例来说明了文中所用方法的有效性。