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介绍集成电路制造技术90 nm最新工艺的一些动态及采用的新技术,如应变硅、50 nm晶体管栅极长度,并对今后集成电路的发展做了简单展望.
集成电路迈向90nm新工艺
【摘 要】
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介绍集成电路制造技术90 nm最新工艺的一些动态及采用的新技术,如应变硅、50 nm晶体管栅极长度,并对今后集成电路的发展做了简单展望.
【机 构】
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上海大学微电子研发中心
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年10期
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