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【摘 要】
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随着带热障涂层高温合金的广泛应用,对飞秒激光制孔的工艺也提出了更高的挑战,本文通过研究飞秒激光与氧化锆陶瓷的相互作用原理,计算出了当单脉冲能量约为80μJ时,焦点内的材料可以被完全去除,并通过实验进行了验证.通过大量的优化实验,提出了针对带涂层高温合金的分段制孔法,总结出了最优的工艺参数,可用于任意角度制孔,所获得的微孔涂层表面质量完好,过渡段无裂纹,孔壁质量良好.
【机 构】
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中国航发西安航空发动机有限公司,陕西 西安710100;中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西 西安710119;西安中科微精光子制造科技有限公司,陕西 西安710119;西安工业大学机电工程学院,陕
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2021年9期
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