【摘 要】
：
All-reflective optical systems, due to their material absorption and low refractive index, are used to create the most suitable devices in extreme ultraviolet lithography (EUVL). In this letter, we present a design for an all-reflective lithographic proje
【机 构】
：
LaboratoryofOptoelectronicsTechnologyandInformationSystem,SchoolofOptoelectronics,BeijingInstituteof
【出 处】
：
ChineseOpticsLetters
论文部分内容阅读
All-reflective optical systems, due to their material absorption and low refractive index, are used to create the most suitable devices in extreme ultraviolet lithography (EUVL). In this letter, we present a design for an all-reflective lithographic projection lens. We also discuss its design idea and structural system. After analysis of the four-mirror optical system, the initial structural parameters are determined, the optical system is optimized, and the tolerances of the system are analyzed. We also show the implementation of optimal layout and desired imaging performance.
其他文献
在超短脉冲技术中,腔内元件的相位色散效应起了重要影响,本文介绍了一个测定宽带多层高反射膜的相位色散的实验方法,同时计算了反射膜的相位二阶导数,实验表明宽带多层反射膜相移和相位二阶导数与膜层设计和工艺过程有密切关系.
迄今为止依赖于相干激光的全光照象术，已发现可用超声波进行。至少有四个实验室的科学工作者已用超声波束照明物体以形成全光照片，并借助于激光重现。声波的分辨力比光波粗糙得多，但超声能量有穿透本领，已拍摄下物体内部的声波全光照片。超声全光图的明显应用为医疗诊断。人体内部器管可用超声波成象，而无危险。激光照象则不行。
一发两收激光测距技术可提高卫星激光测距系统的探测能力，因此，一发两收测距模式在空间碎片激光测距中得到了很好的应用。实测获得的合距离可用于解算目标位置等参数，然而解算过程中存在精密定轨法方程复杂的困难，而将合距离归算到目标到各站点的距离能够简化法方程。结合中国科学院云南天文台1.2 m望远镜10 Hz共光路激光测距接收系统和53 cm双筒望远镜千赫兹常规卫星激光测距系统，建立了一个一发两收高精度激光测距试验平台，并对过境的多圈卫星开展了激光测距试验，直接测量获得了目标的合距离以及目标至各站点的距离。试验结果
由激光获得的双光子效应首次被用来引起一种特殊化学反应。贝耳电话实验室的鲍和雷泽皮斯用红宝石激光脉冲照射蒸馏的苯乙烯单体，发现有聚苯乙烯产生。这是由于单体分子同时吸收了两个光子而引起的聚合反应。
宽谱黄-橙激光是生物医学领域中重要的荧光光源。基于周期极化掺氧化镁铌酸锂晶体(MgO∶PPLN)的宽带准相位匹配技术,提出了一种基于变迹步进啁啾MgO∶PPLN的建模方案。在啁啾MgO∶PPLN中实现了C波段(1525~1565 nm)和波长为980 nm激光的宽带和频,通过遗传算法对变迹率和啁啾周期范围增量进行了数值优化,在波长为600 nm附近获得了转换效率约为-11 dB、带顶波动为0.047 dB、带宽为6 nm的光谱输出,提供了一种高转换效率、小带顶波动的宽谱黄-橙全固态激光输出方案。
设计并实现了一种低功耗、小型化、可长期稳定运行的自动稳频激光系统。通过设计并实现高效率、低纹波的电压源，较大幅度地降低了整个系统的功耗和体积；通过设计并实现高性能温度控制电路、电流控制电路和稳频电路，得到了线宽较窄、频率稳定度较高的输出激光。该系统能够自动长期稳频，输出激光线宽约为1 MHz，稳定度指标为秒稳定度1.43×10-10，十秒稳定度3.90×10-11，百秒稳定度1.28×10-11，千秒稳定度2.25×10-11。在稳定度略优于商用外腔半导体激光器的前提下，该激光系统电源体积缩小了约85%，
用激光光子退吸显微镜巳经获得了直径66微米尖端上若丹明晶体的4×l03倍放大象。在不同尖端电场强度和不同激光脉冲强度下对这些象的形成特性进行了研究。
本文计算了掩蔽与选择性热氧化GaAs-GaAlAs多层结构中的应力与光弹性效应.提出介质洛埃镜干涉法,直接观测了GaAs上掩蔽生长热氧化膜引起的应力-光弹性效应的折射率分布,测量结果在定性和数量级上与理论计算一致.本文也扼要介绍了应力和光弹性效应对半导体激光器特性的影响及应用于集成光学的可能性.
针对现有图像盲取证方法在多重镜像篡改检测效果较差的问题,提出一种基于近似最近邻(ANN)搜索的图像篡改检测方法。提取图像的BRISK(Binary Robust Invariant Scalable Keypoints)特征描述子,获得图像的二值特征向量。利用PatchMatch计算特征间的偏移量并借助传导策略优化搜索相似图像块,实现篡改区域的初步检测。利用最小均方线性模型计算拟合误差移除误匹配点
更换波导染料激光器中的染料浓度方法简单,因此可以简便地调整波导管中激活区的深度;泵浦光的热效应将使得染料溶液中的折射率形成渐变式分布,由此将形成厚薄不同的柱面形激活区以及形成溶液本身的自导作用,这就给不交轴光线的产生、传输等方面的研究工作,提供便利而又直观的实验基础。