【摘 要】
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在同时考虑到氧外扩散和沉淀作用的情况下,研究退火后间隙氧分布和洁净区宽度随退火时问的变化。根据同质成核理论,推导最大成核速度对应温度与初始间隙氧热平衡温度之间的关
【机 构】
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哈尔滨工业大学半导体物理与器件教研室,哈尔滨工业大学半导体物理与器件教研室
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在同时考虑到氧外扩散和沉淀作用的情况下,研究退火后间隙氧分布和洁净区宽度随退火时问的变化。根据同质成核理论,推导最大成核速度对应温度与初始间隙氧热平衡温度之间的关系。提出根据洁净区宽度、外扩散效率和初始氧含量选择外扩散温度、时间及成核退火温度的方法。具体实验鳍果表明理论分析和选择方法是正确的。
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