【摘 要】
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微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器、微电感器、微谐振器、微滤波器、微开关等的典型结构形式及其主
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微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器、微电感器、微谐振器、微滤波器、微开关等的典型结构形式及其主要性能。
Microelectromechanical systems (MEMS) technology has broad application prospects in the future of communications. This paper introduces several MEMS devices used in communication lines, such as micro-capacitors, micro-inductors, micro-resonators, micro-filters, Micro-switch and other typical structure and its main performance.
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