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<正> 硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass,BPSG),即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层间介电质(IMD)在 IC 制造中有着广泛
硼磷硅玻璃在集成电路中的应用
【摘 要】
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<正> 硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass,BPSG),即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层间介电质(IMD)在 IC 制造中有着广泛
【机 构】
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应用材料（中国）公司
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
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2006年09期
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