【摘 要】
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研究了采用金属有机化合物热分解 (MOD)法制备锆钛酸铅 Pb(Zr0 .5 2 Ti0 .48) O3铁电薄膜的工艺及 PZT薄膜的介电性能 .利用 XRD分析了薄膜的结晶过程 ,制得具有钙钛矿结构的
【机 构】
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研究了采用金属有机化合物热分解 (MOD)法制备锆钛酸铅 Pb(Zr0 .5 2 Ti0 .48) O3铁电薄膜的工艺及 PZT薄膜的介电性能 .利用 XRD分析了薄膜的结晶过程 ,制得具有钙钛矿结构的 PZT薄膜 ,铂电极有利于钙钛矿相的形成 .薄膜的介电温谱研究结果表明 ,薄膜的居里温度约为 430℃ (1 k Hz)
The process of preparing lead zirconate titanate Pb (Zr0.52Ti0.48) O3 ferroelectric thin films by the method of metal organic compound thermal decomposition (MOD) and the dielectric properties of PZT thin films were studied.The crystallization process, PZT films with perovskite structure were obtained, and the platinum electrode was favorable for the formation of perovskite phase. The results of dielectric temperature spectroscopy showed that the Curie temperature of the films was about 430 ℃ (1 k Hz)
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