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用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和紫外-可见分光光度计观察4%（原子分数）In掺杂ZnO薄膜的微结构、表面形貌和光学性质。微结构分析表明：薄膜仍为六角纤锌矿结构,由于In杂质的掺入,使得薄膜结晶度劣化,退火温度对薄膜微结构影响较小;表面形貌观察结果显示：薄膜表面凹凸不平,450℃退火处理薄膜表面最平坦,尺寸在50～100nm之间小颗粒致密、均匀地分布于起伏的表面;紫外可见透射谱研究结果表明：随着退火温度升高,薄膜光学带宽Eg由3.267eV减小到3.197eV,该结果可能与薄膜表面残余应