【摘 要】
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本文对斐索型球面干涉仪的移相原理误差进行了理论推导和计算；应用移相干涉术的三步法和五步法，分析和比较了球面移相误差对波面复原精度的影响，并给出了有关数据和曲线。最后，提
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本文对斐索型球面干涉仪的移相原理误差进行了理论推导和计算；应用移相干涉术的三步法和五步法，分析和比较了球面移相误差对波面复原精度的影响，并给出了有关数据和曲线。最后，提出了几种减小球面测量误差的措施。
In this paper, the error of phased Fischer-type spherical interferometer is theoretically deduced and calculated theoretically. By using the three-step and five-step methods of phase-shifting interferometry, the effect of spherical phasing error on the wavefront restoration accuracy is analyzed and compared Relevant data and curves are given. Finally, several measures to reduce the spherical measurement error are proposed.
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