【摘 要】
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一、引言 SD—400keV离子注入机是一种多用途离子注入机,它具有注入元素种类多、能量调节范围广、扫描面积大等特点,可以注入从质量数为1的氢离子直到质量数大于200的重离子
【机 构】
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山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,
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一、引言 SD—400keV离子注入机是一种多用途离子注入机,它具有注入元素种类多、能量调节范围广、扫描面积大等特点,可以注入从质量数为1的氢离子直到质量数大于200的重离子;能量从50keV到400keV连续可调;具有垂直扫描和非垂直扫描两种功能。本机主要用于功能材料、固体材料改性和功能器件的研究以及离子与固体相互作用的基础研究等领域。
First, the introduction SD-400keV ion implanter is a multi-purpose ion implanter, which has a variety of injection elements, wide range of energy adjustment, scanning area and so on, can be injected from the mass of 1 hydrogen ions until the mass is greater than 200 heavy ions; energy from 50keV to 400keV continuously adjustable; with vertical scanning and non-vertical scanning two functions. This machine is mainly used for functional materials, solid materials modification and functional device research and ionic and solid interaction of basic research and other fields.
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