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利用醋酸铅、氯化钌、正硅酸乙酯为主要原料，采用溶胶-凝胶工艺制备了以钌酸铅为主晶相的钌系薄膜电阻材料，运用DTA、XRD和IR等手段对样品的结构和晶化规律进行了研究。薄膜在热处理过程中析出钌酸铅晶相，薄膜电阻方阻值随热处理峰值温度升高先减少再增加。
溶胶-凝胶法制备钌系薄膜电阻
【摘 要】
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利用醋酸铅、氯化钌、正硅酸乙酯为主要原料，采用溶胶-凝胶工艺制备了以钌酸铅为主晶相的钌系薄膜电阻材料，运用DTA、XRD和IR等手段对样品的结构和晶化规律进行了研究。薄膜在
【机 构】
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湖南大学材料科学与工程学院
【出 处】
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稀有金属材料与工程
【发表日期】
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2008年A01期
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