【摘 要】
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日本バルカ 工业公司开发、销售可防止半导体制造装置漏气的密封材料。这种密封材料通常使用氟橡胶 ,但是氟橡胶因摩擦会产生填料微细碎屑的问题。新产品 (牌号为フソツド )
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日本バルカ 工业公司开发、销售可防止半导体制造装置漏气的密封材料。这种密封材料通常使用氟橡胶 ,但是氟橡胶因摩擦会产生填料微细碎屑的问题。新产品 (牌号为フソツド )中用于提高橡胶耐药品性和耐热性的添加剂含量少 ,为提高强度几乎不使用填料等 ,很难产生磨损碎屑 ;耐?
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