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针对硬件面积、价格成本、功耗、实时性和可靠性多目标优化的一类嵌入式系统软硬件划分问题，提出了一种采用多属性决策技术的求解方法。首先对可靠性指标进行了转换，通过改进的最短路径算法获得满足约束的Pareto方案集合；然后，采用基于组合权重的TOPSIS算法对多个划分方案进行评价排序，得到最优的多目标划分解；最后，通过一个实例验证了本方法的有效性和可行性。