【摘 要】
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给出了Al-Cl-N-H体系的一组关联反应,探讨了化学气相淀积过程的关联反应热力学特性。根据Gibbs自由焓最小的原则,研究了Al-Cl-N-H体系的平衡组成。Al-Cl-N-H体系合成AlN超细
【机 构】
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华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室,华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室,华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室,华东化工学院技术化学
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给出了Al-Cl-N-H体系的一组关联反应,探讨了化学气相淀积过程的关联反应热力学特性。根据Gibbs自由焓最小的原则,研究了Al-Cl-N-H体系的平衡组成。Al-Cl-N-H体系合成AlN超细粒子粉末的最佳温度为600～1200℃,AlN平衡得率和体系的初始组成有关,AlCl_2和AlCl的平衡得率随温度的升高而增大。
A group of related reactions of Al-Cl-N-H system are given, and the thermodynamic characteristics of the related reactions in chemical vapor deposition process are discussed. The equilibrium composition of Al-Cl-N-H system was studied based on the principle of Gibbs free enthalpy. Al-Cl-N-H system synthesis of AlN ultrafine particle powder optimum temperature of 600 ~ 1200 ℃, AlN equilibrium yield and the initial composition of the system, AlCl_2 and AlCl equilibrium yield increased with increasing temperature.
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