非晶硅碳（a—SiC：H）薄膜光学常数的透射谱表征

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【摘要】

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报道了一种用透射谱数据分析法计算非晶硅碳薄膜的厚度、折射率、吸收系数和光学带隙等光学常数的方法和程序．这一方法引用有效谐振子模型理论的折射率色散关系，所有公式均为解

【作者】

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胡志华廖显伯

【机构】

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中国科学院半导体研究所凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室,中国科学院半导体研究所凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

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2005年1期

【关键词】

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光学常数透射谱非晶硅碳薄膜 optical constants transmission spectrum amorphous silicon carbid

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报道了一种用透射谱数据分析法计算非晶硅碳薄膜的厚度、折射率、吸收系数和光学带隙等光学常数的方法和程序．这一方法引用有效谐振子模型理论的折射率色散关系，所有公式均为解析表达式，便于进行数据处理．无须专用软件，使用Excel即可完成，适用于多种半导体薄膜材料．将这种方法应用于PECVD方法制备的非晶硅碳(a-SiC：H)薄膜，对其光学特性进行了分析．

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