【摘 要】
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选用高温超导体ＹＢＣＯ薄膜，利用集成微加工工艺，制成高温超导红外探测器。测得器件的等效噪声功率ＮＥＰ达到１０－１２Ｗ／Ｈｚ１／２，探测率Ｄ为１０９ｃｍＨｚ１／２／Ｗ，其中最好的器件性能为Ｄ＝１．８×１０１０ｃｍＨｚ１／２／Ｗ，表明这类探测器已进入实用阶段，成为红外探测
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选用高温超导体ＹＢＣＯ薄膜，利用集成微加工工艺，制成高温超导红外探测器。测得器件的等效噪声功率ＮＥＰ达到１０－１２Ｗ／Ｈｚ１／２，探测率Ｄ为１０９ｃｍＨｚ１／２／Ｗ，其中最好的器件性能为Ｄ＝１．８×１０１０ｃｍＨｚ１／２／Ｗ，表明这类探测器已进入实用阶段，成为红外探测技术发展的新方向之一。
Selection of high temperature superconductor YBCO film, the use of integrated micro-processing technology, made of high-temperature superconducting infrared detector. The equivalent noise power NEP of the device is 10-12W / Hz1 / 2, the detection rate D * is 109cmHz1 / 2 / W, and the best device performance is D * = 1.8 × 1010cmHz1 / 2 / W Such detectors have entered the practical stage and become one of the new directions for the development of infrared detection technology.
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