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提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法——利用腐蚀电流特性和腐蚀图像均匀度相结合的方法，选择出适合的腐蚀溶液。该方法可以提高激光液相腐蚀的性能，解决腐蚀溶液选择的诸多难题，在特殊结构光电器件和光电集成中具有很好的应用前景。
半导体激光化学刻蚀溶液浓度的电流变化选择法
【摘 要】
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提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法——利用腐蚀电流特性和腐蚀图像均匀度相结合的方法，选择出适合的腐蚀溶液。该方法可以提高激光液相腐蚀的性能，解决腐蚀溶液选择的诸多难题
【机 构】
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电子科技大学电子工程学院
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2007年4期
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