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讨论了CuxS薄膜经氮离子注入后对薄膜的特性影响，铜硫化合物薄膜是经两次蒸发制备在玻璃上。实验发现氮离子束注入引起了CuxS薄膜中的铜与硫成分的改变，很明显的观察到样品中的铜对硫的比值随注入离子束强度的增加而变大。
离子注入对CuxS薄膜特性的影响
【摘 要】
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讨论了CuxS薄膜经氮离子注入后对薄膜的特性影响，铜硫化合物薄膜是经两次蒸发制备在玻璃上。实验发现氮离子束注入引起了CuxS薄膜中的铜与硫成分的改变，很明显的观察到样品中的
【机 构】
：
大连铁道学院,1
【出 处】
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大连铁道学院学报
【发表日期】
：
2000年4期
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