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综述了PtSi/p-Si异质薄膜近年来研究的新进展,包括PtSi/p-Si的制备工艺、相形成与分布、PtSi/p-Si界面的微结构、价电子结构以及PtSi/p-Si肖特基势垒的研究现状,并且探讨了PtSi/p-Si的发展方向.
PtSi／p—Si异质薄膜研究的新进展
【摘 要】
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综述了PtSi/p-Si异质薄膜近年来研究的新进展,包括PtSi/p-Si的制备工艺、相形成与分布、PtSi/p-Si界面的微结构、价电子结构以及PtSi/p-Si肖特基势垒的研究现状,并且探讨了Pt
【机 构】
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哈尔滨理工大学
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年5期
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