【摘 要】
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本文对InP衬底上氯化物法、合金源汽相外延生长多元化合物In_xGa_(1-x)As的规律作了研究。给出了In_xGa_(1-x)As外延层组分、生长速率与工艺参数的关系曲线。用电子计算机首
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本文对InP衬底上氯化物法、合金源汽相外延生长多元化合物In_xGa_(1-x)As的规律作了研究。给出了In_xGa_(1-x)As外延层组分、生长速率与工艺参数的关系曲线。用电子计算机首次详细分析了合金源的In-Ga/AsCl_3/H_2系统的热力学平衡状态,获得了一系列理论曲线,并作出修正。对本系统生长的In_xGa_(1-x)As的动力学机理作了分析。实验中获得了与InP衬底晶格相匹配、晶体质量良好的In_xGa_(1-x)As外延层。
In this paper, the law of In_xGa_ (1-x) As, a dopant compound, was epitaxially grown by vapor phase epitaxy on the InP substrate. The relationship between the composition and growth rate of In_xGa_ (1-x) As epitaxial layer and the process parameters is given. The thermodynamic equilibrium state of In-Ga / AsCl 3 / H 2 system with alloy source was first analyzed in detail by electronic computer. A series of theoretical curves were obtained and corrected. The kinetic mechanism of In_xGa_ (1-x) As grown in this system is analyzed. In the experiment, the In_xGa_ (1-x) As epitaxial layer with a good crystal quality matching with the lattice of InP substrate was obtained.
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