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引言rn半导体设备作为半导体行业的基石,支撑着行业的发展.当前,全球半导体行业正蓬勃发展,行业规模再创新高,行业工艺技术已实现5 nm量产.半导体设备的技术研发难度大、费用高,制约着我国半导体行业技术发展.本文通过对现阶段国内外半导体设备行业发展状况进行总结分析,明确行业发展趋势和技术节点差距,以期更好地立足现状,面向未来.