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与制造液晶电视及监视器的非晶硅工艺相比，低温多晶硅（LTPS）制造过程对温度、表面及尺寸要求非常苛刻。LTPS-LCD生产商采用传统的二次热处理或特殊抛光a-Si玻璃，这使得基底的表面质量及薄片品质下降。
用于高端手机显示的新型玻璃
【摘 要】
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与制造液晶电视及监视器的非晶硅工艺相比，低温多晶硅（LTPS）制造过程对温度、表面及尺寸要求非常苛刻。LTPS-LCD生产商采用传统的二次热处理或特殊抛光a-Si玻璃，这使得基底的表面
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2008年3期
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