【摘 要】
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为了克服传统的扫描探针显微镜 (SPM) 在应用中的不足,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置,使成本极大地下降.通过对锯齿型光栅试件的检
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为了克服传统的扫描探针显微镜 (SPM) 在应用中的不足,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置,使成本极大地下降.通过对锯齿型光栅试件的检测,证明这种检测方法是可行的.同时在微石英晶振前端安装不同种类的细针,可实现STM,AFM,MFM与EFM的测量,构成一机多能系统.
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