BCN薄膜的结构及性能

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yxhetao

【摘要】

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采用直流磁控溅射法制备了B-C-N薄膜.通过改变基体偏压,研究其对薄膜的成分、结构和力学性能的影响.X射线光电子谱(XPS)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)试验结果表明薄膜中存在着

【作者】

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徐淑艳马欣新孙明仁方丽红

【机构】

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哈尔滨工业大学

【出处】

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稀有金属材料与工程

【发表日期】

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2005年z1期

【关键词】

：

BCN薄膜直流磁控溅射组织结构性能

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采用直流磁控溅射法制备了B-C-N薄膜.通过改变基体偏压,研究其对薄膜的成分、结构和力学性能的影响.X射线光电子谱(XPS)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)试验结果表明薄膜中存在着B-C,B-N,C-C和C-N键,说明薄膜中B,C,N 3种元素达到了原子级化合.随基体偏压增大,薄膜无序化程度增强.纳米硬度测试结果表明,随着基体偏压的增,纳米硬度和弹性模量不断增加.

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