【摘 要】
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介绍了研制的大面积多元PbS红外探测器的各项技术指标,叙述了PbS膜的微区分析、PbS光敏膜的制备、PbS光敏图形的刻蚀等几个关键工艺技术的研究情况,说明了大面积多元PbS探测器
【机 构】
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航天工业总公司二院二十五所!北京,100854
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介绍了研制的大面积多元PbS红外探测器的各项技术指标,叙述了PbS膜的微区分析、PbS光敏膜的制备、PbS光敏图形的刻蚀等几个关键工艺技术的研究情况,说明了大面积多元PbS探测器的研制水平。
This paper introduces various technical indexes of the developed large-area multivariate PbS infrared detector, and describes the research on several key techniques such as the micro-area analysis of PbS film, the preparation of PbS photosensitive film and the etching of PbS photosensitive pattern, Development of large area multivariate PbS detectors.
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