【摘 要】
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用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜.实验结果表明,由室温至200℃,这两种薄膜对CO气体均显示了较高的灵敏度和选择性.单层膜厚度和双层
【机 构】
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山东工业大学数理系,山东,济南,250014
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用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2/SnO2:Pt双层膜.实验结果表明,由室温至200℃,这两种薄膜对CO气体均显示了较高的灵敏度和选择性.单层膜厚度和双层膜导电层及气敏层厚度对灵敏度有明显的影响.通过对掺杂单层膜和双层膜气敏特性的比较,对粉末溅射SnO2薄膜的气敏响应机理进行了探讨.
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