【摘 要】
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CCD尺寸测量普遍采用脉冲计数法,即一个脉冲代表一个光敏元间距,为了提高测量的固有分辨力,Purll,D.C.提出了解调测量的设想。本文对此方法进行了理论分析并提出了工程实现方
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CCD尺寸测量普遍采用脉冲计数法,即一个脉冲代表一个光敏元间距,为了提高测量的固有分辨力,Purll,D.C.提出了解调测量的设想。本文对此方法进行了理论分析并提出了工程实现方法,最后介绍了采用这一方法的实验结果。
CCD size measurement commonly used pulse counting method, that a pulse represents a photosensitive element spacing, in order to improve the inherent resolution of the measurement, Purll, D.C. put forward the idea of demodulation measurement. In this paper, the method is theoretically analyzed and the engineering implementation method is put forward. Finally, the experimental results using this method are introduced.
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