氧和铝在氧化铝中的自扩散参数评估

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评估了氧和铝在Al2O3中的自扩散参数,分析了其扩散机理.得出:(1)在1770~2100 K温度范围内,氧分压不超过1.0€?105 Pa时,杂质总含量为30€祝琈g,Ti含量低于30€椎奈床粼覣l2O3单晶中,氧的自扩散系数与温度的关系式,氧分压和扩散方向对该扩散系数值影响不明显. (2) 在1943~2178 K范围,多晶Al2O3中铝的自扩散系数在到 m2/s之间,扩散活化能为477 kJ/mol.(3)单晶Al2O3中主要杂质为TiO2和MgO, 掺Ti将降低氧的自扩散系数,增加铝的自扩散系数;
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