精密刻划和线纹计量的进展

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本文回顾总结了长春光机所卅年来在精密刻划和线纹计量领域所进行的工作,归纳介绍了主要成果和进展。 This paper reviews and summarizes the work carried out by Changchun Guangji Machinery Co., Ltd. in the field of precision scribing and line pattern measurement over the years and summarizes the main achievements and progress.
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