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合成了一种高分辨率的正性远紫外抗蚀剂—聚苯乙烯砜。其灵敏度比PMMA高6.5倍。分辨率达0.75微米,并发现灵敏度与分子量和膜厚有较大的依赖关系,分子量越大,灵敏度越高;膜越薄,灵敏度越高,紫外和红外光谱表明,在光照过程中生成了氢过氧化物和羰基化合物。
正性远紫外抗蚀剂 Ⅰ.聚苯乙烯砜的研究
【摘 要】
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合成了一种高分辨率的正性远紫外抗蚀剂—聚苯乙烯砜。其灵敏度比PMMA高6.5倍。分辨率达0.75微米,并发现灵敏度与分子量和膜厚有较大的依赖关系,分子量越大,灵敏度越高;膜越
【机 构】
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中国科学院感光化学研究所,中国科学院感光化学研究所,中国科学院感光化学研究所,中国科学院感光化学研究所
【出 处】
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高分子通讯
【发表日期】
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1984年06期
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