【摘 要】
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B244 薄膜厚度的自动检测与控制:该装置能够自动检测和控制薄膜厚度,配有显示、记录仪表,通过调节器改变步进电机的转速和正反转实行闭环控制。厚度控制精度
B244 Film thi
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B244 薄膜厚度的自动检测与控制:该装置能够自动检测和控制薄膜厚度,配有显示、记录仪表,通过调节器改变步进电机的转速和正反转实行闭环控制。厚度控制精度
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